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電子特種氣體

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六氟乙烷

<p>化學式：C2F6</p> <p>純度規(guī)格：5N</p> <p>用途：清洗、刻蝕</p> <p>主要應用領(lǐng)域：集成電路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、光纖</p>

關(guān)鍵詞:

八氟丙烷

<p>化學式：C3F8</p> <p>純度規(guī)格：5N5</p> <p>用途：清洗、刻蝕</p> <p>主要應用領(lǐng)域：集成電路（LOGIC/DRAM/3D NAND）</p>

關(guān)鍵詞:

六氟丁二烯

<p>化學式：C4F6</p> <p>純度規(guī)格：4N</p> <p>用途：刻蝕</p> <p>主要應用領(lǐng)域：集成電路（LOGIC/DRAM/3D NAND）</p>

關(guān)鍵詞:

氘氣

<p>化學式：D2</p> <p>純度規(guī)格：5N</p> <p>用途：熱處理、光纖抗老化處理</p> <p>主要應用領(lǐng)域：集成電路（LOGIC/3D NAND）、光纖</p>

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